| 专利号: |
201010205274.6 |
| 申请日: |
2010/6/17 |
| 授权公告日: |
2011/9/14 |
| 专利权人: |
大连理工大学 |
| 发明人: |
张振宇;赵洪浩;霍凤伟;郭东明 |
摘要:
一种陶瓷结合剂超细金刚石砂轮制备方法,属于硬脆及软脆光电晶体超精密加工技术领域,特别涉及光电半导体硬脆与软脆光电晶体的超精密磨削加工方法。其特征是采用#10000-#300000中的一个值作为超细金刚石磨料,以三种或者四种超细陶瓷粉体作为结合剂,以钾、钙、钠、镁的氯化盐类或者硝酸盐类的一种或者两种做分散剂和细化剂,以糊精、碳酸盐类和碳酸氢盐类中的一种或两种做发泡剂。用冷压成形的方法压制成形,在室温下均匀升温到480-530度,保温30-60分钟,然后均匀升温到580-610度,保温40-60分钟,最后均匀升温到640-680度,保温100-150分钟,即可烧结成形。本发明的效果和益处是实现了高效超光滑低损伤磨削,获得了高效超精密磨削加工效果。
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