| 专利号： |
201010247782 |
| 申请日： |
2010/8/2 |
| 授权公告日： |
2012/11/7 |
| 专利权人： |
大连理工大学 |
| 发明人： |
钱敏;张军;刘博;康仁科;郭东明 |
摘要：
本发明一种磨削测力仪在机标定方法和水平力加载器属于传感测试技术领域。该方法中，磨削测力仪与电荷放大器、数据采集卡、工控机依次相连构成测控系统。在磨削测力仪安装在磨床上后，对磨削测力仪施加标准载荷并进行归一化调节，确定磨削测力仪的各向归一化灵敏度，由装在工控机中的监测软件处理数据后，建立磨削测力仪的“力值-示值”在机标定曲线，由此求得各性能指标。该在机标定方法采用两个结构完全相同的水平力加载器和标准测力计测量硅片磨削时产生的轴向力Fz、径向力Fr和切向力Ft，每个水平力加载器由移动套、提升螺杆、端接板、螺杆、连接轴、减速器、水平导向套等组成。该方法简便，干扰小，够达到良好的测量性能。
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