| 专利号： |
200610048064.4 |
| 申请日： |
2006/10/17 |
| 授权公告日： |
2008/8/13 |
| 专利权人： |
大连理工大学 |
| 发明人： |
丛明;沈宝宏;于旭;杜宇;金立刚 |
摘要：
本发明涉及一种新型工业用机器人，主要是指在集成电路制造中不同加工模块之间实现硅片传输的一种净化机器人。其特征是它包括机座I、R同直线伸缩机构III、θ向旋转机构II、Z向升降机构II和末端执行器IV。其各向机构的驱动部件与传动装置都放置在机座内部，并采用浮环密封装置防止传动装置产生的尘埃粒子进入高洁净的硅片制造环境，同时使用同步齿型带的传动方式将动力从低洁净环境传输到高洁净环境，带动各节手臂运动。控制方式采用主控微机(PC机)与伺服运动控制卡(MPCO2卡)构成的主从式控制结构。本发明的机器人机构简单新颖、运动惯量小、占地空间小、工作空间较大、应用洁净度高、制作维护容易，可实现R向、θ向和Z向高速高精度的运动性能。
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