摘要：

    本发明涉及到一种射频放电等离子体诊断装置，属于等离子体科学与技术领域，用于诊断射频放电等离子体，能够克服射频放电，特别是两个以上射频同时放电时存在的射频扰动，获得电子密度和电子温度等参数。其特征是由探测器和伺服系统构成，其中，探测器由金属制成的探针、基电极和参考电极组成，基电极为环形，与所在位置放电电场的等势面平行放置，探针位于环形基电极的中心，参考电极可位于等离子体中的任何位置，基电极表面积大于探针表面积的300倍；伺服系统由计算机、数据采集卡、锯齿波发生器和接口电路构成，伺服系统不与放电设备共用电源，不与放电回路共地。锯齿波发生器产生的锯齿波扫描电压加在探针和基电极之间，探针的电位以参考电极的电位为参考计算。