| 专利号： |
201210037429.9 |
| 申请日： |
2012/2/20 |
| 授权公告日： |
2014/2/5 |
| 专利权人： |
大连理工大学 |
| 发明人： |
贾振元；任宗金；刘巍；王福吉 |
摘要：
本发明一种测多维力的压电石英晶组及制作方法，属于压电式传感器领域，涉及在多维力作用下，石英晶片面域电荷分布规律制作多维力测量的压电式石英晶组。压电石英晶组由X0切型的石英单元晶组、第一个、第二个Y0切型的石英单元晶组以及两片接地电极构成。压电石英晶组利用两片X0切型的石英晶片在法向力、除法向转矩外的另外两个转矩的作用下产生耦合感生电荷的方法，采用多电极布置、多区域电荷输出叠加的解耦方法，实现三个力或力矩的测量；再利用四片Y0切型的石英晶片实现两个切向力和法向转矩的测量，实现了空间六维力的测量。该制作方法简单、工艺性好、稳定好，便于封装、成本小。可应用于机械加工、航空航天、国防等领域中。
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