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一种高热稳定性透明导电薄膜及其制备方法和应用(专利号:201210065335.2)
2015-03-30 16:58
专利号:
201210065335.2
申请日:
2012/3/13
授权公告日:
2013/8/21
专利权人:
大连理工大学
发明人:
叶飞;侯波;曹善鹏;张文征
摘要:
本发明涉及一种透明导电薄膜及其制备方法,所述的透明导电薄膜,是第III主族元素中的一种和镓共掺杂的氧化锌透明导电薄膜。本发明的薄膜在保证薄膜热稳定性(>300℃)和电阻率(<10-2Ω·m)的同时降低了生产成本;此薄膜具有镓掺杂浓度低、热稳定性高、抗老化能力强、使用寿命长、原材料价格低廉等优点。
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