| 专利号： |
201010141327.2 |
| 申请日： |
2010/4/2 |
| 授权公告日： |
2012/7/4 |
| 专利权人： |
大连理工大学 |
| 发明人： |
梁延德;付春楠 |
摘要：
本发明是一种高精度可调速直线型微位移工作台，属于超精密制造与检测技术领域，特别涉及了逆压电效应和摩擦微驱动技术实现高精度、可调速的微位移工作台。工作台具有微驱动单元、承载板、导向装置和基体，微驱动单元由相互平行且共面布置的第一、第二、第三压电陶瓷驱动器，第一、第二、第三调整片，平面三联柔顺结构和摩擦触角组合而成；平面三联柔顺结构中的左、右椭圆形柔顺结构以及单稳态柔顺结构、四足柔性支撑梁呈中心对称分布。本发明通过压电驱动器和平面三联柔顺机构复合运动实现了精度高、行程大(理论上最大行程无限制)、载荷大、步距及响应频率可调和机电转换效率高的微位移技术，可以满足精密制造、检测以及微操作领域中不同的使用要求。
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