本发明涉及核聚变与光学诊断领域，公开了一种反射太赫兹谱技术检测偏滤器石墨瓦瞬态温度的装置，太赫兹波发射装置透过窗口向石墨瓦垂直射入太赫兹波，激光测距模块测量探头到石墨瓦之间距离，同时探头测量并记录工作温度下由石墨瓦反射回的太赫兹时域波谱，并将其在有效频域内做傅里叶变换得到工作温度下频域谱；数据自动选取特征谱线，读取数据库中该探测距离时标定温度下该特征谱线位置，两者相比较得出频移量，与数据库的频移量-温度的函数关系相对照推断出瞬时温度，将结果输出并导入至计算机系统保存。本发明采用反射太赫兹时域谱技术，能够在线、同步并且无接触无损伤地检测磁约束聚变装置偏滤器石墨瓦的热冲击瞬时温度。