| 专利号： |
200810011210.5 |
| 申请日： |
2008/4/25 |
| 授权公告日： |
2011/5/11 |
| 专利权人： |
大连理工大学 |
| 发明人： |
杜立群;喻立川;王煜;郭照沛 |
摘要：
聚合物光刻胶超声时效的装置和方法，属于超声波应用领域。其特征是聚合物光刻胶超声时效的装置，包括超声波发生器、超声波换能器、工作台和外壳，其特征在于工作台与超声波换能器相接，外壳支撑工作台和换能器悬空。聚合物光刻胶超声时效的方法，其特征在于：标准工艺清洗硅片，烘干后涂光刻胶，在紫外光下曝光，后烘使SU-8胶交联；对胶层进行超声时效：超声波发生器发出高频电信号，驱动超声波换能器中振动并传递到工作台上。本发明的效果和益处是有效降低聚合物光刻胶层的内应力，避免基板弯曲、应力集中、起胶等影响胶层尺寸精度和结构的现象；同时使工艺参数的选择有更大的弹性，为得到更有效、更多样化的参数组合提供条件，降低了研发成本。
|
