专利号：	2010101289538
申请日：	2010/3/17
授权公告日：	2011/9/14
专利权人：	大连理工大学
发明人：	康仁科；高尚；金洙吉；郭东明；赵海轩

 

 

  

摘要：

    本发明属于硬脆晶体材料超精密加工领域，涉及一种用于检测蓝宝石基片表面层损伤的腐蚀剂。该腐蚀剂由硫氰酸(HCNS)，浓硫酸(H2SO4)和浓磷酸(H3PO4)混合而成，各成分所占体积百分比为：硫氰酸20-25％，浓硫酸55-60％，浓磷酸15-20％，各成分体积百分比之总和为100％。根据使用需要的腐蚀剂体积，按上述比例分别计量硫氰酸(HCNS)，浓硫酸(H2SO4)和浓磷酸(H3PO4)的体积，然后在常温、常压下搅拌均匀。本发明的腐蚀剂对蓝宝石基片具有良好的择优腐蚀性，损伤腐蚀效果明显，腐蚀剂的使用温度低，腐蚀速率快。