| 专利号： |
200910187860.X |
| 申请日： |
2009/10/11 |
| 授权公告日： |
2011/9/14 |
| 专利权人： |
大连理工大学 |
| 发明人： |
褚金奎;张然;刘帅;张成;王文静 |
摘要：
本发明基于体硅加工技术的电热驱动微夹钳制作方法属于微制造技术领域，特别涉及一种基于体硅工艺的微夹钳制作方法。采用体硅加工技术制作出具有较大深宽比微结构的电热驱动微夹钳，包括以下步骤：预处理；光刻释放窗口图形；用湿法刻蚀工艺刻蚀下表面二氧化硅；光刻钳体图形；用自感耦合等离子刻蚀工艺刻蚀上表面二氧化硅；用自感耦合等离子刻蚀工艺刻蚀释放窗口；用自感耦合等离子刻蚀工艺刻蚀钳体；去除表面二氧化硅；溅射金属电极；完成硅微夹钳制作。本发明具有制作成本较低，加工周期较短，可批量生产，具有强度高和便于与微电子线路实现集成化。
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