摘要：

    本发明公布了一种超短脉冲激光烧蚀氮化硅的模拟计算方法，利用Matlab对加工参数进行模拟计算分析，主要步骤包括：建立超短脉冲激光烧蚀氮化硅的烧蚀模型，对计算参数进行初始化；定义等离子体密度边界条件，并通过模型计算在不同模拟参数下的烧蚀阈值、深度和体积；基于计算结果和残留高度模型，对激光烧蚀残留高度进行分析评价，并给出指导参数。本发明可以避免通过反复实验获得加工参数的过程，利用模拟结果可对加工参数进行优化，从而可缩短产品周期，降低加工成本，提高生产效率，因此对超短脉冲激光烧蚀氮化硅的实际加工过程具有重要指导价值。