专利成果

专利成果

一种带有迂回通道的悬臂梁式液体浓度传感器(专利号:2013100145951)
2016-05-13 11:27  

专利号:

2013100145951

申请日:

2013/01/15

授权公告日:

2015/07/22

专利权人:

大连理工大学

发明人:

高仁璟;赵剑;张彦康;张永存;刘书田

摘要

    本发明涉及一种带有迂回通道的悬臂梁式液体浓度传感器,包括基体、悬臂梁、激励压电薄膜、检测压电薄膜,所述悬臂梁一端固定在基体上,另一端自由悬空,悬臂梁上表面设有激励压电薄膜,悬臂梁下表面设有检测压电薄膜,所述悬臂梁内部设有用于检测的迂回通道,所述悬臂梁固定端设有通道的入口和出口,本发明有益效果为提高了传感器的灵敏度和测量效率。

 

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